$ 至纯科技 ( SH603690 ) $  

一、公司基础概况

上海至纯洁净系统科技，2017 年上市，实控人为蒋渊，总市值约 108 亿元（2026.5），采用设备 + 材料 + 服务 + 洁净室一体化模式，

双龙头，员工约 1609 人。

• 收入结构（2025）：高纯工艺系统 80.3%（22.93 亿，内含洁净室配套、气体系统）、湿法清洗设备 10%（2.86 亿）、电子材料 9.4%（2.69 亿，内含大宗气体运营）、其他 0.2%

• 核心客户：深度绑定长江存储（特气份额 46.9%、化学品 29%、洁净室配套主力）、中芯国际、华虹、长鑫科技等头部晶圆厂

二、五大核心业务拆解（新增洁净室、半导体气体）

1. 洁净室业务（晶圆厂基建底层底盘）

• 业务模式：提供 10~1000 级半导体高端洁净室 EPC 总包 + 二次配工程，覆盖洁净厂房设计、建造、净化系统、介质管路配套全流程，2024 年洁净室相关配套营收 28.3 亿元，毛利率 33.86%，12 寸晶圆厂项目订单占比 88.46%。

• 行业地位：国内半导体洁净室二次配工程市占 15.3% 排名第一，是长江存储、中芯新建厂房洁净系统核心承建方；子公司至微落地华南 10 级超高洁净零部件清洗基地，配套晶圆厂精密部件维保。

• 业务协同：洁净室是高纯特气、化学品输送、湿法清洗设备的物理载体，公司同步承接洁净室内特气 / 化学品二次配管路，形成「厂房建造 - 介质配套 - 设备入驻」闭环，客户切换成本进一步抬升。

2. 半导体气体业务（分两大板块）

（1）电子大宗气体（自产运营，现金流压舱石）

• 主体载体：全资子公司至一电子、至嘉半导体，在头部晶圆厂厂区旁自建现场大宗气站，供应高纯氮 / 氧 / 氩 / 氢 / 氦 / 二氧化碳，纯度达 ppb 级，匹配 28nm 及以下先进制程。

• 商业模式：签订 15 年长期排他供气合约，已建成国内首座全国产化 12 寸配套大宗气工厂，第二座气站 2024 年投产，随客户产能爬坡持续增厚稳定 recurring 收入，平滑晶圆建厂周期波动。

• 客户：中芯国际、华虹、长江存储、长鑫存储。

（2）特种气体系统（系统集成，不生产气体）

归属高纯工艺系统板块，国内 12 寸晶圆特气输送系统市占 46.9%，负责硅烷、磷烷、六氟化钨等外购特种气体的管路、阀门、安全监控系统集成安装，是晶圆厂特气安全输送刚需，氟化氢腐蚀性气体管路已实现国产化批量交付。

3. 高纯工艺系统（现金基本盘）

国内 12 寸晶圆特气设备市占 46.9%、化学品设备 29%，行业第一；产品覆盖大宗特气供应系统、化学品配液系统、研磨液输送系统，绑定头部晶圆建厂全周期，客户替换成本极高。

2025 年营收下滑源于大项目交付周期拉长、收入确认延后，洁净室二次配项目延期同步拖累板块回款。

4. 湿法清洗设备（国产替代核心增量）

国内清洗设备三足鼎立（至纯 / 盛美 / 北方华创），国内唯一量产高温硫酸 SPM 设备，累计出货超 100 万片；

• 已实现 28nm 全工艺覆盖，14/7nm 设备进入关键验证；设备必须在公司配套的高等级洁净室环境下调试落地，洁净室业务反向赋能设备验证进度；

• 子公司至微半导体承载研发，打破东京电子、LAM 海外垄断，2026 年设备订单目标 8-12 亿（相较 2025 年 2.86 亿营收预期增 3~4 倍）。

5. 电子材料（AI 光模块隐形王牌）

通过持股威顿晶磷 13.65%（二股东），卡位 AI 光模块上游核心原料 6N 高纯电子红磷：

• 威顿晶磷是国内少数量产 6N 红磷企业，红磷为磷化铟 ( InP ) 衬底刚需原料；

• 2026 年全球 InP 衬底需求 260-300 万片、有效产能仅 75 万片，供需缺口超 70%，英伟达预测 2026-2030 年 InP 需求增长 20 倍；

• 2025 年曾尝试收购威顿晶磷控股权终止，市场预期后续仍有并购可能；板块同步包含大宗气体运营收益。

三、与长江存储深度绑定逻辑

1. 供货范围：为长江存储 12 寸 3D NAND 提供洁净室总包 + 特气输送纯化 + 化学品配液 + 单片式 SPM 清洗 + 驻厂大宗供气全链条配套；特气设备份额 46.9%、化学品设备 29%、洁净室二次配主力供应商。

2. 合作周期：2017 年起建厂洁净室 + 高纯系统配套、2020 年导入清洗设备、2023 年大批量使用 SPM、2025-2026 年长江存储三期 Xtacking4.0 建设，14/7nm 设备同步验证、新增洁净室和气站规划。

3. 业绩催化：长江存储 2026-2027 年三期扩建，洁净室工程、气体系统、清洗设备三类订单同步放量。

四、财务现状与 2026 反转逻辑

1. 历史亏损原因（2025 年归母净利 -7.77 亿，上市最差）

• 营收同比下滑 20.81%，洁净室、高纯系统大项目交付延后，收入减少 7.5 亿；

• 研发 + 管理费用刚性上涨（研发增近 25%，洁净室、先进制程气体设备研发投入加码）；

• 一次性计提大额资产减值、信用减值。

2. 五大反转信号（2026 拐点预期）

1. 订单爆发：全年目标 45-55 亿（翻倍 2025 全年 25.34 亿），2026Q1 新签 19.77 亿，达 2025 全年 78%，IC 领域订单占比 94.4%，其中洁净室 + 气体系统订单占新增超 50%；

2. 减值出清：2025 年一次性消化历史资产包袱，2026 年轻装上阵，存量大宗气站逐步进入稳定盈利期；

3. 清单影响消化：2024 年实体清单冲击已通过供应链替代缓解，洁净室国产化材料、气体零部件自主率提升；

4. 先进制程突破：Q3 将落地 14/7nm 清洗设备验证结果，同步配套先进制程洁净室、高纯气体系统方案，打开百亿先进制程市场；

5. 晶圆扩产周期：长江存储三期 + 国内晶圆厂集体 CAPEX 上行，洁净室基建、高纯系统、大宗气站订单持续放量。

3. 关键时间节点

• 2026Q2：越南工厂爬坡 + 国内洁净室、气体项目集中交付，营收环比改善；

• 2026Q3：14/7nm 设备验证落地，配套洁净室方案同步落地；

• 2026 下半年：长江存储三期洁净室、气站项目招标启动。

五、五大核心护城河

1. 全产业链稀缺：A 股唯一贯通「洁净室基建 - 高纯气体 / 化学品系统 - 清洗设备 - 电子材料」全链条半导体厂商；

2. SPM 独家量产 + 洁净室绑定：国内仅有的高温硫酸清洗量产厂商，设备与自有洁净室协同调试，短期无竞争对手；

3. 高粘性客户：长江存储 / 中芯等洁净室、特气系统改造替换成本极高，15 年气体长约锁定长期现金流；

4. 红磷资源卡位：绑定国内稀缺电子红磷产能，深度受益 AI 光模块需求；

5. 制程领先：28nm 全覆盖、先进制程稳步突破，洁净室和气站方案同步适配高阶工艺。

六、综合研判总结

利好逻辑

短期亏损为一次性财务洗澡，叠加长江存储洁净室 + 气体扩建 + 订单翻倍 +AI 磷化铟材料四重催化，属于困境反转标的；洁净室 + 大宗气体是穿越周期的稳定底盘，设备国产替代 +AI 上游材料稀缺是中长期核心价值。

$ 兆易创新 ( SH603986 ) $  $ 太极实业 ( SH600667 ) $  

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