截至 2025 年 10 月 28 日 14:24，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨 0.08%，成分股艾森股份上涨 9.75%，华峰测控上涨 5.04%，神工股份上涨 4.64%，京仪装备上涨 2.48%，拓荆科技上涨 2.43%。科创半导体 ETF ( 588170 ) 上涨 0.13%，最新价报 1.5 元。

流动性方面，科创半导体 ETF ( 588170 ) 盘中换手 10.96%，成交 4.50 亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至 10 月 27 日，科创半导体 ETF ( 588170 ) 近 1 月日均成交 6.96 亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体 ETF ( 588170 ) 最新规模达 40.93 亿元，创成立以来新高。

消息面上，近日，国内射频器件芯片龙头卓胜微公告 34.75 亿元定增修订稿，公司定增募资中 30 亿元将用于射频芯片制造扩产。在外资依然把持全球射频前端市场话语权的背景下，卓胜微通过此次定增项目捕捉高端定制化产品的国产替代机遇。

民生证券指出，AI 拉动先进逻辑及存储需求，直接带动了半导体设备及材料的需求。在逻辑芯片向更先进制程演进的过程中，以及 HBM ( 高带宽内存 ) 的兴起，对相关制造材料提出了更高要求。

相关 ETF：公开信息显示， 科创半导体 ETF ( 588170 ) 及其联接基金 ( A 类：024417；C 类：024418 ) 跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备 ( 61% ) 和半导体材料 ( 23% ) 细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF ( 562590 ) 及其联接基金 ( A 类：020356、C 类：020357 ) ，指数中半导体设备 ( 61% ) 、半导体材料 ( 21% ) 占比靠前，充分聚焦半导体上游。