今日 ( 3 月 6 日 ) 早盘 ,A 股半导体设备板块全线走强，拓荆科技涨停，京仪装备、中科飞测、北方华创、芯海科技、中微公司等涨超 6%。此前福光股份 20CM 涨停，拓荆科技、京仪装备涨超 10%，中科飞测、富创精密、汇成真空、中微公司等多股涨超 6%。

消息面上，全球光刻机巨头 ASML 最新报告显示，​ 2025-2027 年全球 300mm 晶圆厂设备支出预计将达到 1232 亿、1362 亿、1408 亿美元，同比分别增长 24%、11%、3%。这一数据远超市场预期，尤其先进制程需求激增，EUV ( 极紫外 ) 光刻机支出占比持续攀升。有机构指出，光刻机作为半导体设备中市场规模最大 ( 占比 24% ) 的细分领域，已成为行业增长的 " 核心引擎 "。

同时，国内光刻机产业链近期动作频频。上海微电子已实现 90nm 光刻机量产，并加速向更先进制程突破；福光股份等企业凭借光学组件技术优势，切入国产光刻机供应链。市场分析认为，海外技术封锁 ( 如 ASML 被要求提供中国客户名单 ) 正在倒逼国产设备厂商加速自主创新。

另外， AI、新能源汽车等下游需求爆发，推动晶圆厂扩产潮，中芯国际、华虹半导体等头部企业资本开支同比增幅超 30%，国家大基金三期近期密集调研半导体设备企业。

有相关市场分析人士认为本轮行情不仅是短期资金推动，更是行业景气周期拐点的确认。ASML 数据验证了全球半导体设备支出的刚性增长，而国内企业在政策扶持下，有望在成熟制程领域率先实现份额突破。

同时，兴业证券指出光刻机是半导体设备‘皇冠上的明珠’，国产化势在必行。建议关注北方华创 ( 刻蚀 / 薄膜设备龙头 ) 、上海微电子 ( 光刻机整机制造 ) 、福晶科技 ( 光学元件核心供应商 ) 等标的。

近期中金公司​也表示 2025 年国内半导体设备市场规模或突破 500 亿美元，国产化率有望从当前的 20% 提升至 35%。建议关注具备核心技术、客户导入顺利的企业。