超能网 04-02
Rapidus确认4月启动2nm试产线,并推进小芯片封装技术
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Rapidus宣布,其 2025 财年的计划和预算已经得到了日本新能源 · 产业技术综合开发机构(NEDO)的批准。该批准涵盖了 NEDO" 后 5G 信息和通信系统基础设施强化研发项目 / 先进半导体制造技术开发(委托)" 的两个委托项目,分别是 " 基于日美合作的 2nm 半导体集成技术和短 TAT(周转时间)制造技术的研究与开发 " 和 "2nm 半导体的 Chiplet、封装设计和制造技术的开发 "。

第一个项目专注的是前端工艺,于 2022 年 11 月启动,是日本下一代半导体研发工作的一部分。根据该计划,Rapidus 在日本北海道千岁市建造了创新集成制造工厂(IIM-1),作为 2nm 芯片的生产基地,已安装 EUV 光刻设备,同时还派遣工程师到美国 IBM 共同开发 2nm 工艺技术。随着 2025 财年的计划和预算获得批准,2nm 试产线将于今年 4 月启动,生产设备已安装在前端工艺区域。Rapidus 将在 300mm 晶圆上开发 2nm GAA 晶体管原型。Rapidus 还将为早期客户发布一个 PDK(Process Design Kit),为客户准备好原型设计的环境。

第二个项目专注于后端流程,于 2024 年 3 月启动,目标是开发基于 2nm 工艺的更大、更节能的小芯片封装。为了支持这一目标,正在建立大规模生产和封装设计所需要的设计套件和芯片测试技术。Rapidus 正在与 IBM(美国)、Fraunhofer(德国)和 A*STAR IME(新加坡)进行国际合作,推进后端流程计划,并决定在精工爱普生公司的千岁工厂建立一个新的研发基地,名为 "Rapidus Chiplet Solutions(RCS)",毗邻 IIM,准备工作正在进行中。

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