铅笔道作者 | 爱羽

近日，北京杀出一个独角兽：国内半导体真空泵企业——北京通嘉，完成新一轮 5 亿元融资。

它的核心产品是干式真空泵，这是一种无油、无污染的抽气设备，可将气体从低压区抽出并排放到大气中，从而实现真空环境，主要应用于半导体制造、显示面板、光伏等行业。

这是一个快速发展的国产替代赛道。

本文将详细拆解：这个真空泵赛道，还藏着哪些超级机会？

01 产业链拆解：国产化率不足 5%

北京通嘉成立于 2012 年，其主导产品干式真空泵已实现全国产化，性能对标国际水平。

产品的最大应用领域是半导体，尤其在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等工艺制程段，都需要用到干式真空泵。

当前，该赛道的全球市场长期被海外巨头垄断，如爱德华、Ebara 等，国产化率不足 5%，实现真空泵自主可控，这是中国半导体产业的重大命题。

半导体级真空泵产业链可拆解为：

1、上游是核心材料与部件提供商，特种钢材 / 合金（耐高温、耐腐蚀）、高精度密封件、真空轴承。

2、中游是设备制造和系统集成服务商，聚焦高可靠性设备生产（北京通嘉）。

3、下游以晶圆厂为核心需求方。

1-1 上游：核心材料与部件提供商

1-2 中游：设备制造和系统集成服务商

1-3 下游：核心需求方

02 半导体真空泵赛道全景

3-1 半导体级真空泵的定义：

它是专为半导体制造工艺设计的高精度真空设备，用于制造半导体时抽气，维持真空环境。

3-2 分类介绍

3-3 市场规模及增速

据汉钟精机财报显示，2023 年中国大陆与中国台湾半导体真空泵市场规模为 79 亿元。另有报告显示，2024 年中国半导体真空泵市场规模约 60 - 80 亿元。

区域分布上，亚太地区占全球 70% 以上份额（2023 年），中国台湾、韩国晶圆厂集中；中国增速最快（2025 年占比升至 25%），国产设备逐步替代进口。

3-4 半导体级真空泵的发展阶段

半导体级真空泵已经处于成熟早期，核心依据包括行业集中度较高，全球市场由 Edwards（英国）、爱德华（日本）等头部企业主导，CR5（前五企业市占率）超 70%。即便在当下的国内市场，尽管中微公司、北方华创等加速国产替代，但国际巨头仍占据主导地位。

3-5 半导体级真空泵的关键驱动因素

04 半导体真空泵上游产业链

4-1 行业现状

4-2 解决的痛点

4-3 所处地位强弱

整体强势（技术壁垒高），但国产替代需求迫切。

4-4 主要代表玩家

05 中游产业链剖析​

中游是设备制造和系统集成服务商，聚焦高可靠性设备生产，比如北京通嘉。

5-1 行业现状：

5-2 解决的痛点

5-3 所处地位强弱

整体不如上下游，依赖于上游供应，对下游议价能力弱。

5-3 主要代表玩家

06 下游产业链剖析​

半导体真空泵的下游环节主要是半导体制造领域，涵盖芯片制造的多个工艺，如单晶拉晶、光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、封装、测试等。

6-1 行业现状

6-2 解决的痛点

6-3 所处地位强弱

话语权较强。下游晶圆厂等是核心需求方，采购量大，对产品性能、可靠性要求高，认证严格，其需求主导市场，在价格、技术等方面能对供应商形成较大影响，在产业链中占据主导地位。

6-4 主要代表玩家

07 未来 1-3 年新机遇

7-1 技术升级与市场需求驱动​

随着先进制程（3nm/2nm）和第三代半导体（GaN/SiC）加速渗透，对超高真空环境（≤ 10 ⁻ ¹¹ Pa）的需求激增，推动干式泵、离子泵及低温泵技术迭代。同时，晶圆厂扩产（如台积电美国工厂、中芯国际临港项目）及设备国产替代政策（中国 " 十四五 " 规划）将直接拉动本土真空泵需求，国产厂商有望在干式泵领域实现技术突破并抢占 15%-20% 市场份额。

7-2 新兴领域与绿色转型机遇

量子计算、光子芯片等前沿技术对真空环境要求更严苛（如极紫外光刻 EUV 配套真空泵），催生高端市场增量。此外，全球减排政策趋严，无油干式泵（能耗低、零污染）及长寿命设计（＞10 年维护周期）成为主流方向，叠加 AI 预测性维护技术应用，将进一步降低运营成本，拓展绿色半导体制造场景。