快科技 4 月 14 日消息，Intel 前任 CEO 帕特 · 基辛格已经找到了新工作！本人亲自宣布，已经加盟 xLight 担任执行董事长。

xLight 是一家半导体行业创业公司，主要业务室面向 EUV 极紫外光刻机，开发基于直线电子加速器的自由电子激光 ( FEL ) 技术光源系统，可显著降低成本。

目前的 ASML EUV 光刻机使用的是激光等离子体 EUV 光源 ( LPP ) ，依赖超高功率的高能激光脉冲，因此整个系统极为庞大、复杂，而产生的 EUV 光源功率有限，这也是其成本、价格高昂的核心原因，单价超过 1.5 亿美元。

因此，美国、中国、日本等都在积极研究替代方案，FEL 自由电子激光器就是广为看好的 EUV 光源，包括振荡器、自放大自发辐射两大技术路线。

它可以产生超过 10kW 功率的 EVU 光源功率，可同时满足 10 台光刻机的需要，而且不会产生锡滴碎片而污染环境。

其实，ASML 早在十年前就考虑过 FEL EUV 光源路线，但最终认为风险偏高，而走向了 LPP EUV 光源。

有关研究显示，10kW 功率的 FEL EUV 光源的建设成本约为 4 亿美元，每年运营成本 4000 万美元。

相比之下，250W 功率的 LPP EUV 光源的建设成本约为 2000 万美元，每年运营成本 1500 万美元。

算下来，EFL 路线的建设成本只有 LPP 路线的 1/2，运营成本更是 1/15，综合成本约为 1/3。

基辛格加盟的 xLight 公司，正在研发基于 ERL ( 能量回收直线加速器 ) 的 FEL EUV 光源系统，可提供 1000W 的功率，四倍于 ASML，从而将单块晶圆光刻成本降低约 50％，而且单个光源系统就能支持 20 台光刻机，寿命也长达 30 年。

xLight FEL EUV 光源系统的另一个好处，就是兼容现有的 ASML EUV 光刻机，可以直接整合，预计 2028 年可接入 ASML 光刻机，并开始生产晶圆。

xLight 公司规模不大，但是团队在光刻和加速器领域拥有丰富经验，包括来自斯坦福直线加速器等的资深研究人士，首席科学家 Gennady Stupakov 博士曾在去年拿到 IEEE 核能和等离子体科学学会粒子加速器科学技术奖。