在过去几年里，包括光刻机和刻蚀机在内的半导体制造设备广为人知。但其实作为全球精密制造的巅峰之作，芯片制造流程非常多，涉及的设备也包罗万象。例如，炉管设备就是芯片制造设备中不可或缺的一环。

炉管主要用于集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等领域的芯片制造。从形态上看，炉管则基本可分为卧室炉、立式炉和快速升温炉三种。其中，立式炉因为其占地面积更小，并且可以更好地控制温度，成为一种用途广泛的高效加热设备。

作为一家涉足半导体设备领域 50 多年的公司，ASM 提供了极具竞争力的立式炉管解决方案。

在立式炉管领域深耕 50 多年

资料显示，半导体设备公司 ASM 于 1968 年成立于荷兰，已经在全球 15 个国家及地区建立了分部。其产品涵盖原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）、Si 和外延（Epitaxy）等多个领域。至于立式炉管，则是 ASM 自 20 世纪 70 年代初以来，一直深耕的设备领域。

在今年的 SEMICON China 上，ASM 企业总监、炉管产品线负责人 Maarten Teepen 接受了半导体行业观察的采访，分享了他对于立式炉管的见解。

ASM 企业总监、炉管产品线负责人

Maarten Teepen

立式炉管的主要优势之一，在于可以采用批量处理配置，能够同时批量处理晶圆。" 得益于这一设计，立式炉管带来了显著的经济效益，它提高了单位时间内机台能够处理晶圆的数量，使得单片晶圆的生产成本得以降低。因此，立式炉管不仅能够实现高质量的薄膜沉积，还可在保证生产效率的同时节约成本。"Maarten Teepen 解析说。

据 Maarten Teepen 介绍，ASM 的立式炉管方案有助于满足芯片生产中对生产效率和成本效益的更高要求。例如，ASM 的立式炉管设备采用了双腔体设计，进一步提升了生产效率。

赋能 More-than-Moore 市场

随着对功率器件、IGBT 和电动汽车需求的不断增加，More-than-Moore（MtM）市场对相关沉积技术的需求也随之上升。自 2020 年以来，ASM 扩展其立式炉管产品组合，以满足 MtM 市场快速增长的需求。

Maarten Teepen 告诉半导体行业观察，ASM 目前在立式炉管领域主要提供两条产品线：A400 DUO和SONORA。

其中，A400 DUO是面向 8 英寸及以下晶圆（即 200mm 及以下更小尺寸晶圆）处理的立式炉管解决方案。其反应器采用双舟设计，最大化吞吐量，同时极大减少维护需求，适合大批量生产。

从 Maarten Teepen 的介绍我们得知，A400 DUO 的历史可以追溯到 1993 年，当时 ASM 推出了首款立式炉管设备 A400。经过多年的持续创新，ASM 在 2020 年对其进行了全面升级，推出了 A400 DUO。据介绍，新设备采用了全新的软件系统、硬件架构和反应器技术。

至于SONORA 立式炉管，则是 ASM 最新一代面向 12 英寸晶圆处理（即 300mm 晶圆）的立式炉管解决方案，专为需要兼顾成本、效益、性能的 MtM 应用而设计，助力提升 MtM 功率器件的生产效率。

"ASM 的立式炉管反应器具备许多独特能力。得益于独特的反应器设计，我们的产品在硅基沉积市场获得了客户的广泛认可。"Maarten Teepen 补充说。

未来发展

在问到未来的发展方向时，Maarten Teepen 强调，ASM 聚焦于薄膜沉积领域和反应器技术。公司目前也正在推动许多新的产品和技术发展，包括化学工艺、反应器设计，以及对温度和工艺控制的改进等。在他看来，这些领域，有大量的创新正在发生，提高对工艺结果的可预测性。

" 通过选择性增长策略，ASM 将持续扩展立式炉管的产品组合。在中国，立式炉管技术为功率器件、IGBT 和电动汽车市场的增长提供了支持。"Maarten Teepen 最后说。