瑞财经 吴文婷 近日，无锡卓海科技股份有限公司（以下简称 " 卓海科技 "） 在北交所披露 IPO 招股书，保荐机构为海通证券。

卓海科技是一家专注于半导体前道量检测设备领域的国家级专精特新 " 小巨人 " 企业。

前道量检测设备以光、电子束等介质作为主要工具，针对光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备的加工成果，进行关键指标的量测或潜在缺陷的检测，其使用场景覆盖芯 片前道生产的几乎全部工序。 

前道量检测设备具有精密度高、结构复杂、技术难度大、品类众多的特点，目前设备的国内产业化尚处于起步阶段。根据沙利文统计，截至 2023 年末，前道量检测设备的国内企业的市场份额约为 5%，在主要半导体前道设备中，仅高于光刻机 ( 根据东海证券 2024 年 9 月发布的研报，目前国内企业的市场份额约 2.5% ) 。 

公司在前道量检测设备领域深耕十余年，已形成最高可达 12 英寸、14nm 制程的修复工艺平台，终端客户覆盖客户 A、客户 B、客户 C、华虹半导体、士兰微、客户 D、华润上华、客户 G 等国内主流芯片产线客户。

据招股书，2022 年 -2024 年，卓海科技实现营收分别为 3.14 亿元、3.81 亿元、4.65 亿元；归母净利润分别为 1.19 亿元、1.32 亿元、1.04 亿元。

本次 IPO，卓海科技计划募资 7 亿元，用于半导体前道量检测设备产业化项目、研发中心建设项目、补充流动资金。

值得注意的是，卓海科技曾于 2022 年 6 月 14 日申报创业板 IPO 获受理，保荐机构为光大证券。不过，其于 2023 年 1 月 20 日上会被否。

彼时，公司计划募资 5.47 亿元，同样是用于用于半导体前道量检测设备产业化项目、研发中心建设项目、补充流动资金。

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