证券之星 04-23
万润股份获得发明专利授权:“一种用于ArF浸没式光刻胶顶层涂层的组合物及其制备方法”
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证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示万润股份(002643)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种用于 ArF 浸没式光刻胶顶层涂层的组合物及其制备方法 ",专利申请号为 CN202111631540.6,授权日为 2025 年 4 月 22 日。

专利摘要:本发明涉及一种用于 ArF 浸没式光刻胶顶层涂层的组合物,所述的组合物包括聚合物 I、聚合物 II、光致产酸剂和电子级溶剂,所述的聚合物 I 和聚合物 II 结构式如下:a 选自 40 ‑ 70%,b 选自 1 ‑ 10%,c 选自 30 ‑ 60%;x 选自 1 ‑ 10%,y 选自 1 ‑ 10%,z 选自 80~95%;聚合物 I 和聚合物 II 的分子量选自 1000 ‑ 30000Da,分子量分散系数选自 1.0 ‑ 4.0。所述顶层涂层组合物具有较高的后退角,可减少光致产酸剂在浸没流体中的沥出。

今年以来万润股份新获得专利授权 11 个,较去年同期减少了 21.43%。结合公司 2024 年中报财务数据,2024 上半年公司在研发方面投入了 2.12 亿元,同比增 33.31%。

数据来源:天眼查 APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由智能算法生成(网信算备 310104345710301240019 号),不构成投资建议。

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