证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为 " 下电极组件及等离子体处理设备 "，专利申请号为 CN202411660380.1，授权日为 2025 年 7 月 8 日。

专利摘要：本发明提供一种下电极组件及等离子体处理设备。所述下电极组件用于等离子体工艺处理，包括：静电吸盘，其上表面用于承载基片；位于静电吸盘中的第一电极，其与一脉冲式直流偏压源电连接；位于静电吸盘中的第二电极，其通过一隔离电路与一直流电压源电连接，所述第二电极位于所述第一电极的上方；所述隔离电路包含一二极管，所述二极管的负极与所述直流电压源的负极电连接、正极与所述第二电极电连接。本发明通过消除脉冲式直流偏压源对箝位电压的影响，解决在工艺过程中基片箝位电压的失稳问题。

今年以来中微公司新获得专利授权 84 个，较去年同期减少了 1.18%。结合公司 2024 年年报财务数据，2024 年公司在研发方面投入了 14.18 亿元，同比增 73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了 28 家企业，参与招投标项目 66 次；财产线索方面有商标信息 98 条，专利信息 1505 条，著作权信息 13 条；此外企业还拥有行政许可 76 个。

数据来源：天眼查 APP

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