证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示杭氧股份（002430）新获得一项发明专利授权，专利名为 " 一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法 "，专利申请号为 CN202510330533.4，授权日为 2025 年 7 月 11 日。

专利摘要：本发明属于尾气处理技术领域，涉及一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法，通过采用吸附装置、膜分离组件以及气体提纯塔的复合装置系统，能够完成含毒、腐蚀、多种稀有气体混合工况的低浓度氦气回收和提纯操作，可以将回收后的氦气提纯至 99.999% 以上，回收率高、纯度高且充分利用前后气体换热，能耗较低，进一步拓宽了氦气供给来源；所述装置系统全程无气体排空，均回流、收集以及排放回尾气管道中，适用于半导体各种制程。

今年以来杭氧股份新获得专利授权 20 个，较去年同期增加了 53.85%。结合公司 2024 年年报财务数据，2024 年公司在研发方面投入了 4.49 亿元，同比减 0.78%。

通过天眼查大数据分析，杭氧集团股份有限公司共对外投资了 101 家企业，参与招投标项目 585 次；财产线索方面有商标信息 82 条，专利信息 465 条，著作权信息 14 条；此外企业还拥有行政许可 164 个。

数据来源：天眼查 APP

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