截至 2025 年 7 月 17 日 10 点 18 分，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌 0.53%。成分股方面涨跌互现，和林微纳领涨 3.10%，明志科技上涨 1.87%，沪硅产业上涨 1.55%；安集科技领跌 2.02%，芯源微下跌 1.55%，先锋精科下跌 1.42%。科创半导体 ETF（588170）下跌 0.69%，最新报价 1.01 元。拉长时间看，截至 2025 年 7 月 16 日，科创半导体 ETF 近 1 月累计上涨 5.86%，涨幅排名可比基金 1/2。

从资金净流入方面来看，虽然半导体接连调整，科创半导体 ETF 近 4 天获得连续资金净流入，最高单日获得 1621.47 万元净流入，合计 " 吸金 "2438.09 万元，日均净流入达 609.52 万元。

山西证券认为，国内晶圆厂建设潮及美国加大对华出口管制下，光刻机国产化迫在眉睫。人工智能发展大幅提升国内先进制程产能需求。芯片生产产线建设中，光刻机购置成本最高，达到设备总投资的 21%-23%。国内晶圆厂建设潮和 AI 快速发展带动国产光刻机需求持续攀升。美国持续加大对华半导体设备出口管制下，国产光刻机产业有望加速崛起。

公开信息显示，科创半导体 ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备和半导体材料细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

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