证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为 " 一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统 "，专利申请号为 CN202422027461.X，授权日为 2025 年 7 月 8 日。

专利摘要：本申请涉及一种硅烷尾气处理装置及镀膜系统，其中，硅烷尾气处理装置包括依次连通设置的第一管路、驱动泵、第二管路和尾气燃烧部；第二管路设有温度检测部件和压力检测部件；第一管路设有第一阀件。该硅烷尾气处理装置能够在对硅烷尾气进行处理的同时，保证安全性。

今年以来微导纳米新获得专利授权 47 个，较去年同期增加了 42.42%。结合公司 2024 年年报财务数据，2024 年公司在研发方面投入了 2.67 亿元，同比增 50.78%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了 2 家企业，参与招投标项目 47 次；财产线索方面有商标信息 112 条，专利信息 519 条，著作权信息 20 条；此外企业还拥有行政许可 68 个。

数据来源：天眼查 APP

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