科创芯片 ETF 国泰（589100）涨超 3.1%，AI 驱动先进制程扩产预期强化。

华金证券指出，AI 发展推动先进工艺产能（7nm 及以下）持续扩张，ArFi/EUV 光刻机需求增加。全球半导体制造行业预计从 2024 年底到 2028 年产能将以 7% 的复合年增长率增长，达到每月 1110 万片晶圆，其中 7nm 及以下产能预计从 2024 年每月 85 万片增长至 2028 年的 140 万片，复合年增长率达 14%。193nm 浸没式光刻结合多重曝光技术可延长商业周期至 7nm 节点。台积电 N7 及 N7P 采用 DUV（ArFi）光刻机实现 57nm 栅极间距，而 N7+ 在关键层引入 EUV 光刻机。长期来看，高端光刻机突破是先进制程量产的基石，分辨率取决于光源波长、数值孔径和光刻工艺因子，浸没式光刻和计算光刻技术对提升分辨率至关重要。

科创芯片 ETF 国泰（589100）跟踪的是科创芯片指数（000685），单日涨跌幅可达 20%。该指数从科创板市场中选取涉及半导体材料、设备、芯片设计、制造、封装与测试等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映芯片产业链相关上市公司证券的整体表现。该指数注重技术创新和成长性，覆盖了芯片产业的上中下游多个环节，具有较强的科技属性和行业代表性。

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