纳米级集成电路检测设备已进入客户产线。

作者 |  ZeR0

编辑 |  漠影

智东西 8 月 8 日报道，8 月 7 日，广东泛半导体检测设备企业中导光电在广东证监局办理辅导备案登记，正式启动 A 股上市进程，辅导机构为国泰海通。

中导光电成立于 2006 年 11 月 17 日，注册资本为 1.82 亿元，注册地在广东省肇庆市，法定代表人是 BO LI。其控股股东 3i Systems Corporation 持股 31.83%，为中导光电第一大股东。

TCL 华星光电也是中导光电的股东之一，在 2014 年投资了中导光电。今年 7 月，中导光电宣布完成近亿元新一轮融资，募集资金将重点投向显示面板和半导体技术与产品的研发，扩充高性能半导体产品家族。

该公司致力于解决战略行业的 " 卡脖子 " 难题，计划持续加码核心技术攻关，提升前道晶圆缺陷检测功能，量产 90nm 至 40nm 工艺节点的产品，并将推出检测灵敏度更先进的样机并进行客户验证。

官网显示，中导光电由海归资深专家团队创立，是一家半导体工业高端自动光学检测设备专业公司，也是国家专精特新 " 小巨人 " 企业、国家知识产权优势企业，2016 年 10 月在 " 新三板 " 挂牌，2021 年 3 月摘牌。

其产品以半导体芯片检测为前导，以平板显示检测为基础，以光伏电池片 / 硅片检测为补充，累计获得国内外各类知识产权逾百件。

中导光电的集成电路检测设备产品覆盖 " 无图形 " 和 " 有图形 " 晶圆检测应用领域，检测灵敏度达纳米级，已成功进入客户产线；平板显示检测设备形成了完整的产品家族，检测灵敏度达到亚微米级。

2022 年，中导光电首台纳米级有图形晶圆缺陷检测设备 NanoPro-150 运交客户工厂。

中导光电的 NanoPro-100 系列最高灵敏度达 100nm，适用于半导体芯片 0.13 μ m-0.18 μ m 及以上制造工艺需求；NanoPro-200 系列适用于 65nm-0.11 μ m 半导体工艺；NanoPro-300 系列正在开发中；MDI 产品适用于 0.5-1um 半导体工艺。

2024 年，中导光电前道有图形产品已实现 " 产业级 " 国产替代，业绩实现翻倍增长。目前，中导光电手持订单充裕，成功占据了中国大陆 Array AOI 显示面板设备市场超过 50% 的份额，位居该细分领域首位。

根据辅导备案报告，中导光电预计在今年 11-12 月进入辅导验收阶段。

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