截至 13:26，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌 4.40%。成分股方面，中科飞测领跌 8.98%，京仪装备下跌 8.38%，安集科技下跌 7.40%，和林微纳下跌 7.21%，欧莱新材下跌 6.75%。科创半导体 ETF（588170）下跌 4.28%，最新报价 1.21 元。流动性方面，科创半导体 ETF（588170）盘中换手 20.2%，成交 1.02 亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至 9 月 1 日，科创半导体 ETF 近 1 周日均成交 1.33 亿元。规模方面，科创半导体 ETF（588170）最新规模达 5.19 亿元，创近 3 月新高。份额方面，科创半导体 ETF（588170）近 1 周份额增长 3000.00 万份，实现显著增长。资金流入方面，科创半导体 ETF（588170）最新资金净流入 250.20 万元。拉长时间看，近 5 个交易日内有 4 日资金净流入，合计 " 吸金 "5128.60 万元，日均净流入达 1025.72 万元。

消息面上，截至目前，科创板半导体设备行业公司均已披露 2025 年半年度报告。据统计，科创板共有 13 家半导体设备企业，业务范围涵盖刻蚀设备、薄膜沉积、测试设备、清洗设备等细分领域。具体来看，12 家科创板半导体设备企业在 2025 年上半年实现了营收正增长，其中 2 家增速超五成、5 家增速超四成；有 8 家企业归母净利润为正且实现同比增长，2 家增速超七成。

国金证券认为，半导体设备由于高精密度以及内部严苛的反应环境，对零部件的精密度、洁净度以及耐腐蚀性要求极高半导体零部件行业所需的资本开支和研发投入门槛高，各家均有独特的生产 Know-How，技术 " 平台化 " 发展，掌握多种制造工艺和丰富产品品类的零部件厂商更能帮助客户降低供应链成本、提升采购效率。从扩展性角度来看，" 模块化 " 趋势能极大降低客户采购成本、减少客户切换产线的时间、提高客户的生产效益。因此，技术 " 平台化 " 和产品 " 模块化 " 将会是未来半导体设备零部件行业的长期成长逻辑。

相关 ETF：公开信息显示，科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A 类 024417；C 类 024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF（562590）及其联接基金（A 类：020356、C 类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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