截至 9:46，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨 0.71%，成分股天岳先进上涨 5.71%，和林微纳上涨 3.75%，华兴源创上涨 1.83%，艾森股份上涨 1.56%，明志科技上涨 1.33%。科创半导体 ETF（588170）上涨 0.71%，最新价报 1.14 元。

从资金净流入方面来看，科创半导体 ETF 近 5 天获得连续资金净流入，最高单日获得 4155.78 万元净流入，合计 " 吸金 "1.09 亿元，日均净流入达 2188.34 万元。

相关 ETF：公开信息显示，科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF（562590）及其联接基金（A 类：020356、C 类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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