截至 2025 年 9 月 17 日 10 点 17 分，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨 2.51%，成分股中巨芯上涨 20.00%，中芯国际上涨 7.03%，新益昌上涨 4.48%，安集科技，华峰测控等个股跟涨。科创半导体 ETF（588170）上涨 2.64%， 冲击 6 连涨。最新价报 1.24 元。拉长时间看，截至 2025 年 9 月 16 日，科创半导体 ETF（588170）近 1 周累计上涨 5.58%。流动性方面，科创半导体 ETF（588170）盘中换手 19.91%，成交 1.28 亿元，市场交投活跃。规模方面，科创半导体 ETF（588170）最新规模达 6.33 亿元，创成立以来新高。份额方面，科创半导体 ETF（588170）近 2 周份额增长 7000.00 万份，实现显著增长。资金流入方面，科创半导体 ETF（588170）最新资金流入流出持平。拉长时间看，近 10 个交易日内有 7 日资金净流入，合计 " 吸金 "9585.64 万元，日均净流入达 958.56 万元。

消息面上，早盘光刻机概念活跃带动半导体设备板块走强，波长光电、永新光学双双涨停，苏大维格、茂莱光学等个股涨幅超 5%，市场对半导体设备国产化替代预期升温，与科创半导体 ETF（588170）重仓的安集科技、拓荆科技等半导体材料设备个股形成联动效应。

招商证券则强调海内外 AI 算力芯片高景气延续，存储等板块边际复苏趋势向上，国内算力芯片公司业绩持续释放，寒武纪定增获批、海光推进收并购，同时 2026 年国内偏先进产线扩产有望提速，将带动设备板块订单预期及国产化替代进程。两家机构均聚焦半导体产业链国产化与景气复苏主线，与目标产品投资范围高度相关。

相关 ETF：公开信息显示，科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF（562590）及其联接基金（A 类：020356、C 类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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