截至 2025 年 10 月 15 日 10 点 10 分，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌 0.88%。成分股方面涨跌互现，和林微纳领涨 2.35%，拓荆科技上涨 1.79%，安集科技上涨 1.48%；富创精密领跌 5.63%，中科飞测下跌 5.62%，沪硅产业下跌 2.59%。科创半导体 ETF（588170）下跌 0.96%。

规模方面，科创半导体 ETF 最新规模达 33.11 亿元，创成立以来新高，领先同类。从资金净流入方面来看，科创半导体 ETF 近 3 天获得连续资金净流入，最高单日获得 4.83 亿元净流入，合计 " 吸金 "7.14 亿元，日均净流入达 2.38 亿元。

流动性方面，科创半导体 ETF 盘中换手 10.4%，成交 3.41 亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至 10 月 14 日，科创半导体 ETF 近 1 周日均成交 9.53 亿元，领先同类。

相关 ETF：公开信息显示，科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF（562590）及其联接基金（A 类：020356、C 类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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