截至 10 月 17 日 14:52，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌 4.37%。成分股方面，神工股份领跌 8.21%，华海诚科下跌 7.79%，晶升股份下跌 6.77%，有研硅下跌 6.03%，龙图光罩下跌 5.79%。科创半导体 ETF（588170）下跌 4.28%。

流动性方面，科创半导体 ETF 盘中换手 29.14%，成交 9.45 亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至 10 月 16 日，科创半导体 ETF 近 1 周日均成交 8.25 亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体 ETF 近 1 周规模增长 4.87 亿元，实现显著增长。截至 2025 年 10 月 16 日，科创半导体 ETF 规模 33.51 亿元，领先同类。

相关 ETF：公开信息显示， 科创半导体 ETF （588170）及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备 （61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备 和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF （562590）及其联接基金（A 类：020356、C 类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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