截至 10 月 23 日 10:38，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌 0.45%。成分股方面涨跌互现，拓荆科技领涨 3.88%，新益昌上涨 3.21%，盛美上海上涨 1.5%；神工股份领跌 5.82%，晶升股份下跌 3.11%，华海诚科下跌 3.02%。科创半导体 ETF（588170）下跌 0.51%。

流动性方面，科创半导体 ETF（588170）盘中换手 4.44%，成交 1.68 亿元。拉长时间看，截至 10 月 22 日，科创半导体 ETF（588170）近 1 月日均成交 7.11 亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体 ETF（588170）最新规模达 38.14 亿元，创成立以来新高。

相关 ETF：公开信息显示， 科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF（562590）及其联接基金（A 类：020356；C 类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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