截至 10 月 27 日 13 点 52 分，沪指逼近 4000 点，半导体设备、材料行业交投活跃。重仓半导体设备、材料的科创半导体 ETF（588170）、半导体材料 ETF（562590）午后继续上攻，盘中双双涨超 3%，成交额同步放大，分别突破 5 亿、1 亿元。成分股方面，晶瑞电材、南大光电、艾森股份涨幅明显。从资金流入方面，科创半导体 ETF（588170）近 5 个交易日内有 3 日资金净流入，合计 " 吸金 "2.10 亿元，日均净流入达 4191.25 万元。半导体材料 ETF（562590）买盘活跃，拉长时间看，近 12 个交易日内，合计 " 吸金 "2007.66 万元。

银河证券认为，资金围绕科技自立主线集中布局，头部半导体设备企业订单能见度有望持续提升。重要规划重点聚焦关键核心技术领域的自主突破，设备是直接受益环节之一。短期看，AI 算力需求或推动国内外逻辑与存储厂商扩产，刻蚀、薄膜沉积设备需求旺盛；长期看，国产替代逻辑在科技自强战略下或更为稳固。

相关 ETF：公开信息显示， 科创半导体 ETF（588170）及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF（562590）及其联接基金（A 类：020356、C 类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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