格隆汇 10 月 27 日｜我国在光刻胶领域取得新突破，概念股集体大涨，带动半导体设备 ETF 易方达 ( 159558 ) 涨 3.06%。

今年以来国产替代成为市场主线，半导体设备 ETF 易方达 ( 159558 ) 近 20 日资金净流入额 9.33 亿元，其紧密跟踪中证半导体材料设备指数，半导体设备占比 61.4%，半导体材料占比 21.9%，覆盖光刻机、蚀刻机、薄膜沉积设备及硅片、光刻胶等关键环节龙头企业，中微公司 + 北方华创权重超 30%，高度契合国产替代主线。

半导体设备材料领涨， 消息面上，我国在光刻胶领域取得新突破。近日，北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描技术，首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为，指导开发出可显著减少光刻缺陷的产业化方案。

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