东吴证券股份有限公司周尔双 , 李文意近期对中科飞测进行研究并发布了研究报告《2025 三季报点评：营收持续高增，先进制程量检测设备研发验证进展顺利》，给予中科飞测增持评级。

中科飞测 ( 688361 )

投资要点

25Q1-Q3 营收高增，亏损陆续收窄：2025Q1-Q3 公司实现营收 12.02 亿元，同比 +47.9%，主要系公司产品覆盖度提升，出货量提升；归母净利润为 -0.15 亿元，亏损同比收窄，主要受益于营收规模增长以及费用率整体下降，扣非净利润为 -1.40 亿元，同比 -11.6%。Q3 单季营收为 5.00 亿元，同比 +43.3%，环比 +22.4%；归母净利润为 0.04 亿元，同比 -77.3%，环比 +207.7%；扣非归母净利润为 -0.3 亿元，同比亏损幅度加大，主要系资产减值损失计提较去年同期有所增加。

盈利能力同比改善，研发投入仍维持高位：25Q1-Q3 公司毛利率为 51.97%，同比 +4.28pct；销售净利率为 -1.22%，同比 +5.2pct；期间费用率为 57.97%，同比 -4.7pct，其中销售 / 管理 / 研发 / 财务费用率分别为 7.60%/12.33%/36.62%/1.19%，同比 -0.7/-0.5/-4.6/+1.0pct。研发投入维持高位，25Q1-Q3 研发费用达 4.40 亿元，同比 +31.3%。Q3 单季毛利率为 48.69%，同比 -1.1pct，环比 -2.9pct；销售净利率为 0.73%，同比 -3.9pct，环比 +1.6pct。

存货同比增长，负现金流环比收窄：截止 25Q3 末，公司存货为 25.36 亿元，同比 +63.1%；合同负债为 5.68 亿元，同比 -18.6%。Q3 公司经营活动净现金流为 -2.36 亿元，环比收窄。

平台化布局产品线持续丰富，更先进制程研发验证进展顺利：1）无图形晶圆检测设备：量产型号已覆盖 2Xnm 及以上工艺节点，1Xnm 设备通过多家头部逻辑 / 存储客户验证，截至 25H1 公司累计交付超 300 台，覆盖超 100 余家客户，同时第四代产品已出货至国内头部客户产线验证；2）图形缺陷检测设备：广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，其中用于具备三维检测功能的设备与 HBM 等先进封装的 3DAOI 设备通过国内头部客户验证，2Xnm 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发进展顺利，截至 25H1 末，公司累计交付超 400 台，覆盖 50 余家客户；3）三维形貌量测设备：支持 2Xnm 及以上制程，截至 25H1 累计交付超 200 台设备，覆盖近 50 家客户，应用在 HBM 等新兴先进封装领域的三维形貌量测设备也通过多家国内头部客户验证，期间订单稳步增长；4）薄膜膜厚量测设备：已覆盖国内先进工艺和成熟工艺的主要集成电路客户，金属薄膜膜厚量测设备为新增长点，订单量持续稳步增长，市占率不断提升，测量精度更高的新一代介质薄膜膜厚量测设备已通过多家国内主流客户验证；5）套刻精度量测设备：90nm 及以上工艺节点的设备已实现批量销售，2Xnm 设备已通过国内头部客户产线验证，获得国内领先客户订单，测量精度更高的新一代设备已开展产线验证，进展顺利。6）明 / 暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列已陆续开始在头部客户验证；7）关键尺寸量测设备：2Xnm 产品研发进展顺利，已完成客户端验证。8）良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统已陆续交付客户。

盈利预测与投资评级：考虑到订单验收节奏，我们调整公司 2025-2027 年归母净利润分别至 1.0/3.6/5.1（原值：2.2/3.6/5.1）亿元，当前市值对应动态 PE 分别为 409/116/83 倍，基于公司在半导体量测设备领域的高成长性，维持 " 增持 " 评级。

风险提示：晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期。

最新盈利预测明细如下：

该股最近 90 天内共有 9 家机构给出评级，买入评级 5 家，增持评级 4 家；过去 90 天内机构目标均价为 128.37。

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