截至 2025 年 11 月 11 日 10:50，上证科创板半导体材料设备主题指数盘中震荡。成分股方面涨跌互现，神工股份 20cm 涨停，天岳先进上涨 5.28%，艾森股份上涨 4.70%；和林微纳领跌 3.70%，新益昌下跌 3.39%，中科飞测下跌 3.13%。科创半导体 ETF ( 588170 ) 上涨 0.13%，最新价报 1.49 元。

流动性方面，科创半导体 ETF ( 588170 ) 盘中换手 11.23%，成交 4.29 亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至 11 月 10 日，科创半导体 ETF ( 588170 ) 近 1 月日均成交 5.65 亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体 ETF ( 588170 ) 近 3 月规模增长 33.38 亿元，实现显著增长。

消息面上，11 月 10 日，A 股半导体设备板块表现强势，拓荆科技再创历史新高，年涨幅超过 120%，板块个股集体上扬。华海清科、中微公司等企业前三季度营收与净利润实现双位数增长，存货与合同负债规模持续攀升，预示着订单饱满、业绩释放可期。随着国产设备在刻蚀、薄膜沉积等关键工艺上不断突破，一场由存储扩产带动的设备国产化浪潮，正在资本市场上掀起波澜。

德邦证券指出，从全球来看，本轮 AI 带动的半导体扩产仍在持续，25Q2 全球半导体设备销售额达到 331 亿美元，同比增长 23%；9 月日本半导体设备销售额达到 4246 亿日元，同比增长 14.9%。同时我们注意到海外大厂 Q3 中国区营收快速增长，随着海外关键设备的进一步到位，国内先进制程扩产有望加速。从国内来看，Q3 国产半导体设备厂商营收大幅增长，这不仅反映设备公司去年订单情况良好，也反映今年下游晶圆厂进展顺利，订单兑现度强。同时设备公司研发费用依旧保持高速增长，研发费用率在营收大幅增长的情况下没有出现下滑，国产半导体设备公司研发投入意愿强，国内半导体产业链有望加速发展。

相关 ETF：公开信息显示， 科创半导体 ETF ( 588170 ) 及其联接基金 ( A 类：024417；C 类：024418 ) 跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备 ( 61% ) 和半导体材料 ( 23% ) 细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料 ETF ( 562590 ) 及其联接基金 ( A 类：020356、C 类：020357 ) ，指数中半导体设备 ( 61% ) 、半导体材料 ( 21% ) 占比靠前，充分聚焦半导体上游。