证券之星消息，3 月 10 日，国泰中证半导体材料设备主题 ETF 基金（159516）涨 2.5%，成交额 12.03 亿元。当日份额减少了 1.16 亿份，最新份额为 118.15 亿份，近 20 个交易日份额增加 3.35 亿份。当日资金净流入 2.91 亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为 208.4 亿元。国泰中证半导体材料设备主题 ETF 基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-07-19）以来超额回报为 5.58%，近一个月超额回报为 0%，管理人为国泰基金公司，基金经理为艾小军。