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新宙邦取得氧化硅蚀刻液相关专利,BOE蚀刻液协同降低氧化硅蚀刻速率差异
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来源:新浪证券 - 红岸工作室

6 月 13 日消息,国家知识产权局信息显示,深圳新宙邦科技股份有限公司申请一项名为 " 一种用于氧化硅层的 BOE 蚀刻液 " 的专利,授权公告号 CN117660012B,授权公告日为 2026 年 6 月 12 日。申请公布号为 CN117660012A,申请号为 CN202211008691.0,申请公布日期为 2026 年 6 月 12 日,申请日期为 2022 年 8 月 22 日,发明人庾明茂、鄢艳华、周达文、姜希松、夏明鹏,专利代理机构深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙),专利代理师谭果林,分类号 C09K13/08。

专利摘要显示,为克服现有技术中氧化硅层斜面的蚀刻速率存在差异,产生二段角,不利于金属粒子在其表面沉积的问题,本申请提供一种用于氧化硅层的 BOE 蚀刻液,所述蚀刻液包括氟化氢、氟化铵、含氟羧酸化合物、阳离子表面活性剂和水,所述含氟羧酸化合物的质量百分含量为 0.05%~0.30%,所述阳离子表面活性剂的质量百分含量为 0.005%~0.050%;本申请提供的用于氧化硅层的 BOE 蚀刻液,阳离子表面活性剂和含氟羧酸化合物相互协同,能够较好的降低氧化硅斜面底部和顶部的速率差异,实现对氧化硅层的蚀刻性能,具有蚀刻轮廓好、无残留的效果。

新宙邦成立于 2002 年 2 月 19 日,于 2010 年 1 月 8 日在深圳证券交易所上市,注册地址位于广东省深圳市,办公地址在广东省深圳市及中国香港。该公司是国内电子化学品领先企业,专注新型电子化学品及功能材料,具备技术与产业链优势。

新宙邦主营业务为新型电子化学品及功能材料的研发、生产、销售和服务,所属申万行业为电力设备 - 电池 - 电池化学品,涉及超级电容、Chiplet 概念、先进封装等概念板块。

2025 年,新宙邦营业收入 96.39 亿元,行业排名 15/44,高于行业平均数 94.38 亿元和中位数 71.79 亿元,与第一名中伟新材 481.4 亿元、第二名格林美 371.24 亿元有差距。主营业务中,电池化学品 66.79 亿元占比 69.29%,电子信息化学品 14.65 亿元占比 15.19%,有机氟化学品 14.26 亿元占比 14.80%,其他 6892.74 万元占比 0.72%。净利润 10.99 亿元,行业排名 8/44,远高于行业平均数 2.92 亿元和中位数 1.07 亿元,仅次于璞泰来 26.05 亿元、格林美 17.22 亿元。

深圳新宙邦科技股份有限公司近期专利情况如下:

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