暖风由人 6小时前
半导体卡脖子之:光刻胶
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今天聊的材料是半导体行业的终极卡脖子材料:光刻胶。

光刻工序占整个晶圆制造成本的 35% 左右,光刻环节最重要的产品就是光刻胶,该领域高端市场超过 90% 的市场份额被日本的东京应化、富士胶片、信越化学工业垄断。

KrF 光刻领域,中国国产化率不足 5%;ArF 光刻领域,中国的国产化率低至 0.5%;EUV 光刻领域,国产化几乎为零。

光刻胶为什么如此难搞?

光刻胶有三大技术壁垒

1: 客户验证壁垒,晶圆厂的是错成本极高,验证流程从半年到两年不等,时常过长导致供应商体系绑定程度很深,一旦确定供应商,绝不会轻易更换,其他供应商很难在整个验证流程中有打入的可能性。

2: 配方壁垒,光刻胶并不是单一化合物,而是由数十种化学品精密调配出来的产物,配方本身就是最值钱的专利,其他厂商很难复制。

3: 化学合成壁垒,光刻胶的核心是感光树脂与光引发剂,其杂志含量需控制在亿分之一以下。

日本作为光学领域的集大成者,在该领域积累了数十年的经验,光刻胶更是完全由日本垄断。

众所周知光刻机是由荷兰的阿斯麦尔垄断的,但是它也只是一种显性的垄断,只有光刻机,而没有光刻胶,就像你有一台跑车,却加不上汽油,那这台跑车跟废品没什么区别。

2019 年日韩经贸摩擦时,日本就对韩国实施了光刻间管制,导致三星和海力士这样的半导体企业陷入了恐慌之中。

由此可见光刻胶在芯片制造领域的重要性。

国产替代情况如何?

光刻胶如此重要,国产替代就必然是国家重点关注的产业之一。

目前我国的 Krf 已经走向了批量量产阶段,ArF 也从验证阶段逐步走向放量阶段,向头部晶圆厂稳定供货已经成为可以预期的现实。

但是,这两种光刻胶仅仅是最高只能用于制造 7 纳米芯片,再往前的 7 纳米以下,最难搞定的 EUV 光刻胶,国产替代依然任重道远。

国内的南大光电、彤程新材、晶瑞电材等企业正致力于 EUV 光刻胶的研发,相信在不久的将来国产光刻胶就能面世。

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