金融界 3小时前
晶合集成申请晶圆清洗方法专利,可高效且安全地去除晶圆上的含碳有机物
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国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为 " 晶圆清洗方法 " 的专利,公开号 CN122270072A,申请日期为 2026 年 5 月。

专利摘要显示,本申请提供了一种晶圆清洗方法,属于半导体技术领域,所述晶圆清洗方法包括:提供晶圆,晶圆包括第一区和第二区,在晶圆的第一区上形成多个压电结构,压电结构包括依次堆叠的电场屏蔽层和压电层;执行半导体制造工艺,以在第二区上形成半导体结构,形成所述半导体结构之后,晶圆的表面上具有含碳有机物;对晶圆的表面执行二流体清洗处理,压电结构促使二流体清洗处理过程中产生氧化基团,利用氧化基团去除晶圆的表面上的含碳有机物。本申请可高效且安全地去除晶圆上的含碳有机物。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于 2015 年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本 200759.1697 万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了 13 家企业,参与招投标项目 644 次,财产线索方面有商标信息 54 条,专利信息 1709 条,此外企业还拥有行政许可 27 个。

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来源:市场资讯

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