$ 南大光电 ( SZ300346 ) $  $ 彤程新材 ( SH603650 ) $  $ 上海新阳 ( SZ300236 ) $  

光刻胶

光刻胶中 ArF 的技术难度远高于 KrF；南大光电是国内 ArF 高端光刻胶量产标杆，首家实现 ArF 光刻胶量产并通过头部晶圆厂认证的企业。是国内唯一实现 28nm ArF 光刻胶规模量产的企业，良率达 99.7%。

产品布局：聚焦 ArF 光刻胶高端领域，技术对标国际。2025 年有六款 ArF 光刻胶产品通过客户验证。

技术协同：依托电子特气优势形成协同支撑；从原材料到产品检测的全链条能力；国家支持：承担 " 国家半导体 02 专项 "，获得研发资金和政策支持。

MO 源

化合物半导体（GaN/SiC）外延生长的刚需 " 粮食 "。全球仅 美国陶氏（Dow）+ 南大光电 两家能批量供应 6N 级（99.9999%） 以上 MO 源，两家合计占全球 95%。

市占率：全球 35-40%（国内称 40%，国外统计 30-40%），国内 60-70%，国内绝对龙头。

技术壁垒：三甲基铟（TMI）国内唯一量产 6N+ 级，磷化铟光芯片专用 TMI 国内市占率超 80%；高纯铝源突破 7N 纯度。

客户：三安光电、士兰微、华润微、乾照光电、台积电、三星等，复购率 90%+。

2025 年表现：销量 490 吨（+27.8%），营收 7.14 亿（+23.5%），毛利率 50.88%（+2.3pct

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