6 月 24 日，上证指数收涨 0.11%，创业板指涨 1.41%。半导体产业链爆发，中证半导体材料设备主题指数 ( 931743 ) 收涨 5.37%，带动跟踪该指数的半导体设备 ETF 广发（560780）成交额持续放大，单日成交额超 9 亿元。第三方数据显示，截至 6 月 23 日，半导体设备 ETF 广发已连续 3 个交易日持续获资金净买入，最新规模至 68 亿元，资金交投热度持续升温；从业绩看，半导体设备 ETF 广发近 1 年涨幅为 207%，区间最大回撤 -19.34%，吸引超 39 亿元资金买入。

半导体设备 ETF 广发（560780，联接 A/C 类 020639/020640）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，指数选取 40 只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的个股，聚焦半导体产业链上游供给端。根据中证四级行业分类，该指数中半导体设备占比 67.8%、半导体材料占比 31.6%，合计权重达 99.4%，前十大成分股涵盖中微公司、北方华创、拓荆科技等刻蚀与沉积设备龙头股以及沪硅产业、江丰电子等核心材料标的，前十大重仓股合计权重达 65%，集中度较高，能够较直接地反映半导体产业链上游的景气变化。

从产业基本面看，半导体设备正迎来 AI 驱动的长景气周期。据 SEMI 预测，2026 年全球 12 英寸晶圆厂半导体设备支出预计达 1330 亿美元，同比增长 18%，2029 年有望进一步突破 1700 亿美元。6 月 SEMI 将全球前段半导体设备市场规模预期从 1316 亿美元上调至 1522 亿美元，增速从 16.5% 提升至 23.5%。中国大陆作为全球最大半导体设备市场，2025 年设备销售额占全球比重达 37%，自主可控诉求下本土晶圆厂扩产具备持续性，为设备需求提供坚实支撑。

自主可控逻辑持续强化，设备国产化率进入加速提升通道。东吴证券表示，中国半导体设备国产化率已从 2019 年的 14% 提升至 2025 年的 24%，但光刻、薄膜沉积、量检测等核心环节国产化率仍低于 25%，替代空间依然广阔。大基金三期子基金国投集新专注半导体设备投资，规模约 711 亿元，已于 2025 年完成首笔投资。此外，长鑫存储上市在即有望构成新一轮板块催化，国产存储厂商与国际龙头产能差距显著，扩产空间广阔，设备商有望充分受益于晶圆厂扩产与国产化率提升的双重红利。

业内人士表示，当前半导体设备正从量变走向质变，国产替代正从 " 去美化 " 迈入 " 全链路自主 " 新阶段，中长期配置价值值得重视。东吴证券分析认为，相较之下，半导体设备 ETF 广发（560780）过去一年（截至 2026.3.31）跟踪指数误差为 0.0227%，优于同跟踪指数的其它 ETF 基金。在 AI 算力爆发、存储超级周期与国产替代形成多重共振的背景下，该产品为把握半导体设备材料板块行情提供了透明、高效的配置路径，当半导体设备材料板块出现产业政策催化、晶圆厂扩产预期、订单景气改善或国产替代加速等行情时，投资者可及时执行交易。