光刻，中国集成电路产业的软肋。

  一年一度的 " 势银光刻产业大会 "，是国内光刻产业的盛会之一，往年都在上海、苏州等地举办，今年 6 月首次移师杭州，落地临空经济示范区举行。

  这次 " 迁徙 "，是杭州一次战略意图的摊牌。

  大会上，杭州市透露将以杭州临空经济示范区为核心载体，建设光刻新材料专属产业园区。杭州，如何在光刻产业赛道上找到一个四两拨千斤的起跳点？临空又如何成为核心承载地？

 稀缺的风向标

  哪里有产业大会，哪里就有涌动的热潮。

  在当下的中国产业界，具身智能、低空经济等新赛道正被无数的会议、论坛和资本竞相追逐。然而，光刻产业的会议会展却相对冷门。

  在全球半导体版图中，光刻技术是当之无愧的 " 珠穆朗玛峰 "。它不仅是芯片制造中最复杂、最精密的环节，更是国产化率最低的痛点。这些年，得益于 " 卡脖子 " 攻关的深入，我国在刻蚀机领域、薄膜沉积领域都取得了一定进展。

  随着光刻产业迎来国产替代关键窗口期，相关的会议会展也备受关注。产业研究与数据公司势银（TrendBank）董事长唐蔚波介绍，" 势银光刻产业大会 " 80% 的嘉宾来自企业，在国内光刻产业会议中具有浓厚的产业色彩。

  翻看参会名单，分量不言而喻。既有彭孝军院士这样的学界大咖，也有复旦、上交、中科院宁波材料所等科研院所，还有合肥芯碁微装、彤程新材、上海新阳、鼎龙股份、苏州瑞红、艾森等行业龙头，涵盖产业链上下游近 400 家企业。

  这个稀缺的风向标选择了杭州，背后是行业对新生力量的渴望。它的落地，释放出一个信号：在光刻产业这个极度依赖协同创新的领域，杭州希望找到一个高能级平台，来打破信息壁垒，将散落的资源聚沙成塔。

 四两拔千斤

   " 现在加速布局光刻产业，是最好的时候。" 杭州市有关部门相关负责人判断，当前，上海、北京、深圳、佛山、珠海、无锡等城市纷纷发力整机研发、光刻材料等领域。

  杭州将目光落在了关键配套材料上。

   " 光刻产业就像烧菜，既要锅碗瓢盆，也要油盐酱醋，缺一不可。" 业内人士介绍，作为光刻产业的核心配套，目前国产光刻胶已有一定突破，但还未放量，国产替代的空间依然巨大。

  材料研发最怕 " 有货无处用 "，验证周期长、门槛高。

  大会现场，复旦大学微电子学院研究员伍强也揭示了国产光刻胶面临的真实困境。一款成熟的光刻胶，必须在分辨率、粗糙度、灵敏度、光学邻近效应、焦深等多个维度上实现完美匹配。尽管国产的 ArF、KrF 光刻胶均已有出货，但市占率仍然较小，国内企业仍需要较长时间进一步扩大市场份额。

   " 光刻材料必须通过不断的‘上机验证’来迭代。" 唐蔚波也认为，以前的问题是，半导体企业更愿意用国外成熟的材料体系和设备，以快速扩大经济效益，国内材料企业较难拿到大量的验证机会。但现在不一样了，大家愿意去导入、去测试，这会带来整个国产供应链的快速迭代。

 浙江大学硅材料国家重点实验室

  杭州在新材料产业上具备了较好基础。目前，杭州将新材料列为九大千亿级支柱产业重点培育，已集聚 290 家新材料产业集群规上企业，还依托浙江大学等高校资源布局了硅材料、光学仪器等 6 大国家重点实验室，打通了 " 基础研究—中试放大—批量产业化 " 全链条。

  杭州还拥有一定比较优势。全国领先的 AI 大模型、智能终端及先进封装应用场景，这在一定程度上可以完善产业链条，推动杭州以光刻胶等关键配套材料为支点加速布局。

 从临空起跳

 加速布局光刻产业，杭州的起跳点在哪里？

  据悉，杭州计划以杭州临空经济示范区为核心战略载体，规划建设光刻新材料专属产业园区，量身定制适配光刻产业洁净生产、精密研发需求的标准化产业载体。

杭州临空经济示范区综合保税园

  过去，人们提起临空经济，往往联想到的是跨境电商、快件物流。但今天的杭州临空，不再满足于做全球要素的搬运工，而是要成为硬核技术的策源地。

   " 我们拥有独一无二、叠加赋能的核心优势。" 杭州市临空产业发展有限公司董事长蒋开波介绍，临空是浙江通联全球的开放门户，集齐保税区、综试区、自贸区、临空区 " 四区叠加 " 的政策红利，" 空、铁、路、轨 " 四网交通已然成型，零距离可进机场、30 分钟可抵西湖、60 分钟可达长三角主要城市，完全有条件构建一个面向全球的光刻产业生态港。

  在杭州临空区域规划建设的光刻新材料专属产业园区，不仅是物理空间的载体，更是产业链协同的 " 催化剂 "，将同步配套公共中试车间、第三方专业检测平台、共享精密仪器设备等公共基础设施，补齐行业中小企业研发成本高、设备投入大、检测资源不足的短板，为全产业链企业提供低成本、一站式、全链条研发生产空间。

杭州临空经济示范区

  目前，杭州计划联动产业基金、" 润苗 " 基金、创投机构加大光刻赛道投资布局。如杭州临空既有百亿元国家级服贸产业基金，也有 20+8 亿元政府引导产业基金，同时还有若干支产业支持子基金。尤其是杭州市区两级在临空组建了 " 润苗基金 " 联盟，可放大单只基金投资规模，从原来 500 万元，最大可投资到 2000 万元，形成了多层次一体的产业基金体系。

  光刻产业大会期间，杭州已与 42 家意向企业进行了深入沟通洽谈，企业还实地踏勘了园区、厂房，为后续项目落地储备基础。（记者 张留 郑宸）