$ 凯美特气 ( SZ002549 ) $  

1、 ArF / KrF 准分子光刻混合气（王牌产品）

取得 ASML 子公司 Cymer、日本 GIGAPHOTON 双认证；

  用于 DUV 光刻机光源介质，供货国内中芯、长鑫、长江存储；

2、 高纯稀有气体（自产提纯）

5N/6N 电子级氖气、氪气、氙气、6N 高纯氦气；

用途：光刻混合气原料、腔体吹扫、真空检漏。

3、6N 电子级二氧化碳

应用：晶圆清洗、先进封装超临界清洗。

4、 6N 高纯电子氢气

下游：硅片外延、薄膜沉积、载气，同时布局氢能赛道。

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