博世申请MEMS传感器构件和旋转速率传感器专利,促进第一转子质量绕着平行于衬底表面定向的第一翻转轴线的第一翻转运动

国家知识产权局信息显示，罗伯特 · 博世有限公司申请一项名为 "MEMS 传感器构件和旋转速率传感器 " 的专利，公开号 CN122468068A，申请日期为 2026 年 1 月。

专利摘要显示，本发明涉及一种 MEMS 传感器构件，具有：具有衬底表面的衬底、第一转子质量和两个第一驱动元件，第一驱动元件第一驱动耦合结构与第一转子质量连接并设置为用于使第一转子质量置于绕着垂直于衬底表面定向的第一旋转轴线的第一旋转振荡运动中。第一转子质量和 / 或第一驱动耦合结构设计成，在 MEMS 传感器构件上作用有旋转速率时，促进第一转子质量绕着平行于所述衬底表面定向的第一翻转轴线的第一翻转运动，并且抑制第一转子质量绕着垂直于第一翻转轴线定向的第二翻转轴线的第二翻转运动。此外，本发明涉及一种具有这种 MEMS 传感器构件的旋转速率传感器。

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