近日，北京电控所属北方华创（002371）高端装备（885427）产品矩阵再度扩容，正式推出第三代 12 英寸全石英立式氮化硅低压化学气相沉积（LPCVD）设备 SICRIUS SN302D Ⅱ。

SICRIUS SN302D Ⅱ产品外观

SICRIUS SN302D Ⅱ基于全石英腔体架构，从根源上切断金属污染源，显著提升工艺性能。该设备通过在线热场仿真自主演算工艺温控曲线，精确调节硅片表面的反应温度，摆脱人工经验调参短板，从而保证工艺的一致性与稳定性。设备广泛适配先进逻辑、存储、功率器件及第三代半导体（885908）、先进封装（886009）、硅光集成等多元应用场景，精准覆盖不同技术节点的量产需求，进一步完善高端氮化硅沉积设备布局，为薄膜工艺的演进提供全新的硬件范式。

随着国内 12 英寸晶圆制造产能快速扩充，氮化硅工艺需求大幅攀升。SICRIUS SN302D Ⅱ精准匹配市场需求，强力助推北方华创（002371）深度切入存储、先进逻辑、硅光集成、高端传感器（885946）等高景气赛道，系统性提升北方华创（002371）立式沉积装备在国际产业版图中的竞争力。目前，北方华创（002371）已构建涵盖氧化、退火、低压化学气相沉积、等离子体增强原子层沉积等核心工艺的全品类立式炉量产平台。

供稿

北方华创集团