不构成投资建议。CMP(化学机械抛光):抛光垫为物理载体,抛光液是化学研磨介质,二者配套使用;HBM、3D ‑ NAND 先进堆叠,抛光工序成倍增加,耗材消耗大幅抬升。
全球格局:抛光垫美国陶氏垄断;抛光液卡博特、Fujifilm 主导;国内处于加速认证、逐步放量阶段,样品≠小批量,小批量≠大规模长协供货。
一、CMP 抛光液龙头
1、安集科技(688019)【抛光液绝对龙头】
主营业务 / 特色
国内 CMP 抛光液专精龙头,抛光液业务占营收 80% 以上;铜、钨、氧化硅、氧化铈全品类抛光液;国内少数实现 7 ‑ 14nm 先进制程抛光液批量供货企业,进入中芯国际、长江存储、长鑫存储,同时导入三星、SK 海力士 HBM 供应链。
科研与产能
- 宁波基地抛光液总产能 2.2 万吨 / 年,在建高端 HBM 专用抛光液产线;自研磨料颗粒,配方自主;
- 钨抛光液、铜阻挡层抛光液适配 HBM 高堆叠工艺,直接受益存储算力扩产。
前景风险
优势:先进制程壁垒高,海外存储客户取得突破,毛利率 55% ‑ 58%;
短板:不做抛光垫;客户认证周期长;海外巨头仍占据大部分份额。
2、鼎龙股份(300054)
以抛光垫起家,抛光液为第二增长曲线;子公司鼎泽发展抛光液 +CMP 清洗液,补齐 CMP 全耗材平台;氧化铈、TSV 先进封装抛光液取得批量订单 。
抛光液 2026 年放量,单月销售额突破 4000 万;覆盖逻辑、存储、先进封装;
前景风险:抛光液业务处于放量早期,规模相比安集仍小;优势在于可以给晶圆厂同时供应抛光垫 + 抛光液,协同导入客户 。
3、雅克科技(002409)
通过收购 UP Chemical 布局 CMP 抛光液(STI 氧化硅抛光液为主);成熟存储制程实现供货;同时布局特气、前驱体。
前景风险:以收购技术为主;先进制程抛光液进度弱于安集科技;抛光液不是第一大业务。
二、CMP 抛光垫龙头
1、鼎龙股份(300054)【国内抛光垫唯一大规模量产龙头】
A 股唯一实现 12 英寸晶圆 CMP 抛光垫全流程自主规模化量产上市公司,打破美国陶氏垄断;硬垫、软垫、HBM 专用软垫、大硅片抛光垫全覆盖 。
现有抛光垫年产能 50 万片;潜江三期在建 30 万片软垫产线,面向 HBM、玻璃基板;2026 年 6 月单月出货突破 5 万片;客户覆盖长江存储、长鑫存储、中芯国际,部分进入韩厂验证;抛光垫毛利率 60%+,客户粘性极强,认证周期 2 ‑ 3 年 。
优势:国内几乎无直接对手;同时布局光刻胶、抛光液,半导体多材料平台;
短板:和陶氏相比,7nm 以下超高端产品仍在迭代;扩产受高分子配方、微孔结构工艺约束。
行业现状:A 股暂无第二家上市公司实现抛光垫大规模商业化;其余企业大多处于样品、送样验证阶段。
三、其他布局 CMP 相关材料上市公司
1、江丰电子(300666):溅射靶材为主;布局 CMP 相关研磨粒子研发,不做完整抛光液、抛光垫成品。
2、华海清科(688592):CMP 设备龙头;不生产抛光液、抛光垫耗材,做抛光整机设备。
行业共性风险
1. 高端产品客户认证周期 12 ‑ 24 个月,产线导入调试漫长;样品、送样不等于大规模订单。
2. HBM 拉动 CMP 耗材量价上行,但海外陶氏、卡博特仍然占据全球大部分市场份额,国产替代是渐进过程。
3. 抛光垫属于高分子新材料,配方、微孔结构工艺迭代难度高,扩产周期长。
4. 题材容易提前炒作,部分高端业务短期营收占比有限。
关键跟踪指标
1. 头部晶圆厂批量长协订单、出货量,区分送样、小批量、大规模供货;
2. HBM 产线扩产进度;韩系存储厂国产耗材导入进度;
3. 鼎龙抛光垫产能爬坡;安集科技海外存储客户出货规模。
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