问董秘 2小时前
联合化学:米莱芯程上月交付i-line照明及物镜系统,应用多领域
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投资者提问:

米莱芯程上个月底发岀的设备可以用在国产 DUV 光刻机吗?

董秘回答 ( 联合化学SZ301209 ) :

尊敬的投资者您好,感谢您的关注!米莱芯程上月交付产品为 i-line 照明系统及物镜系统,i-line 属于 365nm 波长紫外谱线(UV),相关产品适配成熟制程光刻工艺设备,应用场景覆盖集成电路制造、先进封装、光伏面板生产等领域。

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