当全新的集成电路系列教材走进西电课堂,传统专业课枯燥的学习模式正在发生改变。

《微电子器件可靠性(第 2 版)》《半导体器件物理》等教材中提供动图动画、MOOC、工程案例、虚拟仿真等数字化教学资源,让原本抽象难懂的芯片原理、微纳工艺、电路设计,变成了看得见、学得会、用得上的鲜活知识。
" 教材里的插图都配有二维码,扫码就能观看高清动态彩图。"2023 级集成电路设计与集成系统专业学生林元硕结合《半导体器件物理》课程分享了自己的学习体验," 开学之初老师就把课程任务点、配套课件、同步讲解的 MOOC 视频全部上传至‘学在西电’平台。课前我们可以依靠线上资源梳理知识框架、预习重难点;在课堂上针对性地解决预习留下的困惑;课后再借助课件与教学视频查漏补缺,学习效率大幅提升。"
电子科学与技术专业博士研究生李国强惊叹于《微电子器件可靠性(第 2 版)》的编写逻辑:" 从可靠性定义到可靠性数学、再到可靠性物理,递进关系非常清晰,先建立定性概念,再掌握定量方法,最后深入物理本质,知识体系完整且层层递进。"
教材建好了,怎么样才能让教材发挥最大价值?怎么样让教材落地课堂教学?《微电子概论》课堂上,集成电路学部董刚教授用一堂课给出了答案。
" 一枚晶体管究竟是如何一步步制造而成的?" 课堂上,他以一个贴近产业的问题开启新课。通过 PPT 依次展示硅衬底、氧化层、栅极、源漏区分层器件结构,顺着芯片完整生产流程,逐层拆解氧化、光刻、刻蚀、掺杂各道工序,细致讲解每一道工艺在器件成型过程中发挥的作用。
讲到阈值电压、导电沟道等难点内容时,董刚对照图示拆解电场、载流子与器件结构的关联,接连抛出问题:" 如果栅介质层持续变薄,MOSFET 性能会发生哪些变化?"" 集成电路核心元器件特征尺寸不断微缩,行业最先遭遇的技术瓶颈是什么?"一连串紧贴产业实际的提问,引导学生跳出课本上的基础定义,结合教材知识思考真实产业场景中的工程难题。
"老师的授课方式,对我影响最大的是建立起工程化思维。看到一个半导体电子器件结构时,我会尝试思考它为什么这样设计、背后的工艺怎么实现、可能会遇到哪些限制,而不只是局限于背诵书本上的理论定义。"2024 级微电子与集成电路专业研究生张宇森深有感触。


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