马斯克瞄准 EUV 光源：FEL 技术受青睐，芯片成本或迎变革

2026.08.10 20:43  

钛媒体 App 8 月 10 日，继造车、火箭、人形机器人之后，马斯克正将目光投向芯片制造核心环节—— EUV 光源。相较于目前成熟商用的激光产生等离子体（LPP）光源技术，马斯克对自由电子激光（FEL）表达出明显的青睐。自由电子激光（FEL）理论上可大幅降低先进芯片生产成本，但目前仍处于早期研发阶段。（广角观察）

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