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北方华创:臭氧相关工艺是先进制程技术探索方向之一
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半导体臭氧在半导体设备中的应用会是先进制程的发展趋势吗?

董秘回答 ( 北方华创 SZ002371 ) :

您好,半导体制程演进始终围绕工艺精度、器件性能与量产成本的综合平衡展开,臭氧相关工艺是先进制程技术体系中的探索方向之一,行业整体呈现多技术路线并行、分场景适配的发展特征。感谢关注!

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