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2026 年 09 月 01 日 15:03:13

阿斯麦：High NA EUV 迈向量产 累计 10 台投入运作

《科创板日报》1 日讯，今日，阿斯麦于 SEMICON Taiwan 2026 先进制程科技论坛透露 High NA EUV（高数值孔径极紫外光刻机）最新进展，目前全球已有 4 家客户完成共 10 台 High NA EUV 装机并投入运作，另有 3 台正在出货及装机中，全球 EXE 系统累计曝光晶圆数已突破 135 万片。阿斯麦指出，High NA EUV 正迈向高量产阶段，并已首度应用于高量产逻辑产品，成为先进制程持续微缩的重要技术平台。

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