三、晶瑞电材双氧水有没有达到俗称 G6(<1ppt)水平?
1、实验室 & 量产指标:已经达标
晶瑞年报、官方调研明确披露:
公司 G5 高纯双氧水金属杂质稳定低于 1ppt,已经突破 SEMI G5 的 10ppt 上限,达到行业俗称 "G6 超高纯 " 指标,纯度接近检测仪器极限。
国内同行兴福、江化微普遍只能稳定控制在 5~10ppt,只有晶瑞能长期稳定<1ppt。
2、量产与客户认证现状
1. 量产供货:现有湖北 10 万吨产线、未来中石化 10 万吨新产线,全部稳定产出<1ppt 超高纯双氧水;
2. 客户使用:已经批量供给中芯国际 7nm、长鑫存储先进存储产线,适配所有国内最尖端晶圆厂;
3. 区别:日系厂商(关东化学、三菱)海外实验室也能做到同等纯度,但国内本土企业仅晶瑞实现大规模稳定量产 "G6 级指标 " 双氧水。
3、补充客观短板
虽然纯度指标达到 "G6",但 3nm 以下 EUV 配套的超高端清洗配方、全球海外客户覆盖,目前日系化工巨头仍有少量领先;国内赛道晶瑞是断层第一。
一句话总结
1. 芯片每一步清洗、去胶都要双氧水,没有它芯片根本做不出来;
2. 国际官方标准最高只有 G5,大家说的 G6 只是民间叫法,代表杂质<1ppt 更高纯度;
3. 晶瑞电材量产双氧水杂质稳定<1ppt,达到行业俗称 G6 超高纯水准,国内独一份大规模供货。
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