钛媒体快报 昨天
阿斯麦与台积电推动高NA EUV光罩向12英寸升级,计划2031年建立试产线
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钛媒体 App 9 月 8 日,荷兰光刻机制造商(ASML)与宣布成立行业合作计划,推动高数值孔径(High NA)极紫外光刻(EUV)光罩从目前的 6 英寸向 12 英寸升级,以提高晶圆厂生产效率、降低芯片制造成本并消除拼接限制。双方计划于 2031 年建立 12 英寸光罩试产线,并推动 12 英寸高 NA EUV 光刻系统于 2033 年进入先进制程量产。预计自 2030 年起在先进制程大规模生产中采用 ASML 高 NA 技术。(广角观察)

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