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10:12:55【华海清科自主研发国内首台全自动板级抛光装备进入量产线】
财联社 9 月 9 日电,近日,华海清科自主研发的全自动板级 CMP 量产装备 Master-P510APEX 顺利出机,发往先进封装产线投入量产应用。作为国内首台进入量产线的全自动板级 CMP 装备,此次出机的 Master-P510APEX 针对大尺寸板级封装的工艺特点进行了系统性设计,具备全板面均匀性与平坦化控制能力,可满足低缺陷抛光要求,并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式的灵活切换,为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。
财联社声明:文章内容仅供参考,不构成投资建议。投资者据此操作,风险自担。
2026-09-09 10:12:55 2916370 阅读
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