截至 2026 年 9 月 15 日 11:20，A 股三大指数涨跌互现，上证指数平盘，深证成指涨 0.17%，创业板指涨 0.01%。

上证科创板半导体材料设备主题指数上涨 3.34%，成分股方面涨跌互现，华海清科领涨 7.67%，兴福电子上涨 6.90%，屹唐股份上涨 6.28%，华海诚科上涨 5.64%，中船特气上涨 4.67%；有研硅领跌 0.35%。

国信证券指出，看好半导体设备中低国产化率的环节，其中部分环节的国内龙头正迎来客户导入、订单放量与份额提升的关键窗口。具体来看，先进制程与存储扩产持续增加膜厚、OCD、电子束等前道量测需求，国产设备正由验证导入转向批量采购；晶圆探针台、MEMS 探针卡及存储测试机受益于 HBM、先进封装和高端芯片测试复杂度提升，加快进入头部客户。

跟踪精度方面，截至 2026 年 9 月 14 日，科创半导体 ETF 华夏近 3 个月跟踪误差为 0.015%，在同类产品中跟踪精度领先。

科创半导体 ETF 华夏（588170.SH）：及其联接基金（A 类：024417；C 类：024418），跟踪指数为上证科创板半导体材料设备指数，其中存储芯片含量超 80%，长鑫存储概念含量 55%，先进封装含量超 67%，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

数据来源：Wind，截至 2026 年 9 月 15 日。上证科创板半导体材料设备主题指数表现：指数 2021 年～2025 年完整会计年度业绩为：-5.14%、-25.65%、14.99%、-0.13%、58.42%；指数历史业绩不预示基金产品未来表现。基金有风险，投资须谨慎。提及个股仅用于行业事件分析，不构成任何个股推荐或投资建议。ETF 为场内交易型指数基金，二级市场价格存在折溢价与流动性风险，基金表现与跟踪指数可能存在跟踪误差，过往业绩不代表未来收益。