石英掩模版，也称为光罩或光掩膜，是微电子制造过程中的图形转移工具。它们是承载图形设计和工艺技术的载体，通过光刻制版工艺，将微米级和纳米级的精细图案刻制于掩模版基板上。

1、2026 年我国石英掩模版行业相关企业产能布局

2026 年我国石英掩模版行业重点企业加快产能布局，向高端制程与规模化方向推进。其中，清溢光电佛山高端半导体掩膜基地计划 2026 年试生产，总投资 35 亿元，目标年底实现 PSM 石英掩模版量产，同步建设显示与高端半导体产线。路维光电多点布局：路芯半导体一期推进 130-40nm 产能爬坡，90nm 及以上成套版及 40nm/28nm 单片版已供货，40nm 成套版仍在验证；二期（28-14nm）计划 2026 年启动投建；厦门高世代掩膜基地总投资 20 亿元、规划 11 条产线，一期 5 条线年产能约 1813 片，预计 2026 年下半年产生收入，总产能规划达 6000 片 / 年。

资料来源：公开资料、观研天下整理

2、我国石英掩模版行业重点上市企业基本情况及业务情况

我国石英掩模版行业重点上市企业有清溢光电、路维光电、龙图光罩等。其中，清溢光电为国内最早、规模最大的掩模版企业之一，实施 " 平板显示 + 半导体芯片 " 双翼战略，布局深圳、合肥、佛山；路维光电以 " 以屏带芯 " 为战略，定位高世代高精度平板显示与先进封装掩模版龙头，半导体制程布局国内领先（14nm），基地覆盖深圳、成都、苏州、厦门；龙图光罩为国内稀缺的独立第三方半导体掩模版厂商，聚焦功率半导体、MEMS、IC 封装等特色工艺，深圳与珠海双基地协同。三家企业均以石英掩模版为核心产品，但业务定位各有侧重。

3、2025 年我国石英掩模版行业重点上市企业营收情况

2025 年我国石英掩模版行业重点上市企业营收表现稳健但分化明显。其中，清溢光电与路维光电收入均超 10 亿元，分别为 11.52 亿元和 10.58 亿元，同比增长 13.42% 和 30.95%，业务占比均超 91%；龙图光罩收入 2.05 亿元，同比仅增 2.38%，但毛利率达 44.18%，居三家之首。

4、2023-2025 年我国石英掩模版行业重点上市产销量情况

2023 至 2025 年，我国石英掩模版三家重点上市企业产销量持续增长，产销衔接良好。其中，清溢光电产量由 3801.26 平方米增至 4958.8 平方米，销量由 3820.21 平方米增至 4957.36 平方米；路维光电产量由 2672.98 平方米增至 4218.78 平方米，销量由 2678.43 平方米增至 4173.51 平方米，增速最快；龙图光罩产量由 34229 片增至 46754 片，销量由 34168 片增至 46758 片。三家企业销量与产量高度接近，基本满产满销，行业景气度持续向好。

资料来源：公开资料、观研天下整理（xyl）

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