截至收盘，上证科创板芯片设计主题指数上涨 0.3%，上证科创板芯片指数上涨 0.01%，中证芯片产业指数下跌 0.3%，中证半导体材料设备主题指数下跌 0.8%。同花顺 iFinD 数据显示，半导体设备 ETF 易方达（159558，联接基金 A/C：021893/021894）今日获 1.53 亿份净申购。

消息面上，国产极紫外（EUV）光源系统样机在第二十六届中国国际工业博览会首次公开亮相，国产化率达 90%，技术路线与国际领先厂商一致。EUV 光源是 7nm 及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外垄断，此次样机亮相被视为国产高端光刻机攻坚的 " 从 0 到 1" 工程验证。