国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为 " 镀膜设备 " 的专利,公开号 CN122942018A,申请日期为 2025 年 4 月。
专利摘要显示,本申请公开一种镀膜设备,属于晶片加工技术领域。所公开的镀膜设备包括工艺腔室、承载装置、第一喷淋件和第二喷淋件,所述承载装置用于承载晶片,且所述承载装置可活动地设于所述工艺腔室内,所述第一喷淋件和所述第二喷淋件间隔设于所述工艺腔室内,所述第一喷淋件用于喷淋第一气体,所述第二喷淋件用于喷淋第二气体;在所述承载装置相对于所述工艺腔室运动至第一位置的情况下,所述承载装置朝向所述第一喷淋件;在所述承载装置相对于所述工艺腔室运动至第二位置的情况下,所述承载装置朝向所述第二喷淋件。上述方案能够解决相关技术涉及的镀膜设备存在需要频繁维护的问题。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于 2001 年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本 114153.708311 万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了 8 家企业,参与招投标项目 1542 次,财产线索方面有商标信息 74 条,专利信息 5991 条,此外企业还拥有行政许可 338 个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员


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