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美光正式放弃4F² DRAM路线,押注晶圆键合与3D堆叠技术
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美国存储芯片企业美光科技正式放弃导入被视为下一代 DRAM 微缩技术关键关卡的 4F ²(4F 平方)单元结构。外界解读,美光不再强行推进 4F ² 路线,转而延续现有 6F ² 结构,并全力押注晶圆键合、3D 堆叠技术路线,试图扭转与韩国竞争对手之间的技术差距,是一次豪赌式战略抉择。

美光于当地时间 21 日举办技术线上研讨会,公布包含未来十年存储研发方向的多代技术路线图,对外释放上述方针。本次发布会最具冲击性的内容,就是美光对下一代 DRAM 单元结构做出的判断。

目前三星电子、SK 海力士正在研发基于垂直沟道晶体管(VCT)的 4F ² 结构,目标突破 10 纳米以下(0a、0b 纳米级)工艺的物理极限。该路线的思路是将原有 6F ² 结构换成 4F ²,缩小芯片面积、提升集成度。

美光在发布会资料中写明:" 我们对 4F ² 的研究已经超过 20 年,但不存在具备可量产性的微缩路径。" 出席发布会的美光总裁兼首席技术与产品负责人(CTPO)Scott DeBoer 进一步表示:"4F ² 微缩存在根本性问题,相比 6F ² 的密度优势,很大程度上近乎一个神话。"

美光果断跳过 4F ²,将晶圆键合与 3DDRAM 放在路线图核心位置。继当前主力的 1 伽马(1 γ)节点之后,计划 2027 年下半年在美国爱达荷州博伊西工厂启动下一代 1 德尔塔(1 δ)DRAM 量产。随后,在研发推进中的 6F ² 衍生后续节点 1 艾普西隆(1 ε)上正式大规模采用晶圆键合技术。

尤其在更远期的前沿节点,美光在 1 泽塔(1 ζ)与 1 伊塔(1 η)之间正式规划了两代 3DDRAM(3D1、3D2)。配套策略是同步探索高数值孔径(High-NA)EUV 光刻机与新材料,待到经济性达标之时,立刻将 3DDRAM 导入量产产线。

在封装以及高带宽内存(HBM)领域,美光还全新公布最大化利用 3D 堆叠技术的 Vertical HBM(垂直 HBM)。传统 HBM 是放置在中介层上、与处理器(XPU)并排摆放;而 Vertical HBM 是将内存直接堆叠在处理器上方,依靠细间距混合键合完成互连。

业内评价认为,本次发布是美光为改写和三星电子、SK 海力士之间的技术竞争格局打出的一记重手。这相当于对外宣告:不再选择在被视作 2D 微缩最后跳板的 4F ² 赛道正面硬刚,而是想用键合、3D 堆叠技术重新改写行业竞争规则。

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