11 月 4 日，中科飞测公告，实际控制人、董事长兼总经理陈鲁提议公司使用 1.00 亿元至 1.50 亿元回购股份，用于股权激励或员工持股计划。

就在数日前，中科飞测宣布第 2000 台集成电路质量控制设备正式出机，发往国内一家集成电路制造商。

两件事放在一起，反映出国产半导体设备公司的经营阶段正在变化。一方面，设备交付数量已形成规模，另一方面，企业仍需要通过持续研发和人才投入争夺先进制程市场。

对中科飞测而言，第 2000 台设备的意义，不只是国产替代取得进展，更在于不断扩大的设备交付规模，可能为其开辟软件、耗材和维保服务等新的收入来源。

国产检测设备开始形成规模交付能力

在半导体制造过程中，检测和量测设备的重要性经常被低估。

晶圆制造需要数百道复杂工序，光刻、刻蚀、沉积等环节即使能够完成，也不意味着最终芯片能够实现稳定良率。晶圆表面微小缺陷、关键尺寸偏差、不同工序之间的套刻误差，都可能影响成品率。

随着芯片制造工艺向更精细结构发展，检测设备不再只是生产后的质量检查工具，而是制造过程中持续控制良率的重要组成部分。

这也使其具有较强的客户认证壁垒。

设备进入晶圆厂后，需要与具体工艺、材料和生产参数配合，并通过长期运行验证可靠性。对于制造商而言，更换检测设备可能需要重新调整测量方法及工艺控制流程。

因此，一家国产检测设备企业能否进入产线，与能否持续获得客户追加采购，具有不同的商业意义。

中科飞测披露，公司已形成覆盖光学、电子束和 X 光技术的十三大系列量检测设备，产品涉及逻辑、存储、特色工艺、先进封装等领域，并已批量进入国内先进制程产线。

这意味着其竞争范围不再局限于单一设备品类。

对于晶圆厂，同一供应商能够提供更多检测和量测设备，有助于降低多供应商系统整合的复杂度。对于设备公司，产品覆盖率提高则创造了向既有客户销售更多设备的可能。

第 2000 台设备出机，正是这一商业模式逐渐具备规模基础的信号。

增长先反映在合同负债中

2026 年 9 月末，公司合同负债达到 14.30 亿元，而 2025 年末仅为 5.65 亿元，九个月增长 153.01%。

同期，公司存货由 26.99 亿元增至 42.89 亿元，增长 58.94%。

两项指标同时上升，显示企业正在承接更大规模的后续履约任务。

合同负债通常反映已收到或应收客户对价、但尚未履行相应义务的部分。它不同于正式确认的营业收入，也不等同于全部在手订单，却能为观察客户采购和预收款安排提供依据。

存货增加同样需要结合设备行业的业务特点理解。

半导体设备从物料采购、生产装配到客户现场安装、调试和验收，通常存在较长周期。随着业务规模扩大，原材料、在产品和发出商品可能占用更多营运资金。

对于中科飞测，合同负债快速增长与存货同步增加，既意味着更多业务正在进入交付链条，也意味着企业的经营重点逐渐转向提高生产、验收和资金周转效率。

其积极意义在于，潜在收入的基础正在扩大。

2026 年前三季度，公司实现营收 16.14 亿元，同比增长 34.31%。其中第三季度营收 6.73 亿元，同比增长 34.73%，环比增长 23.50%；单季归母净利润 0.32 亿元，实现环比扭亏。

公司指出，明场、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备以及高深宽比刻蚀结构量测设备等新产品，连同既有产品升级和先进制程收入增长，共同推动了经营改善。

这显示国产替代正在从产品验证，逐步向收入确认和规模效应释放推进。

2000 台设备能创造多少后续收入

但中科飞测真正值得研究的商业空间，可能并不完全来自继续销售新设备。

2025 年，公司检测设备收入 13.64 亿元，同比增长 38.52%；量测设备收入 6.23 亿元，同比增长 72.71%。同期软件业务收入只有 0.13 亿元，约占公司全年营业收入的 0.61%。

这一结构存在明显反差。

公司的主要收入已经来自精密设备销售，软件收入占比却仍然很小。

对于半导体质量控制设备，客户购买的并不只有硬件测量能力，还包括缺陷识别算法、数据处理、工艺分析及后续维护能力。

随着交付设备数量增加，设备运行过程中产生的缺陷数据、校准需求和软件升级需求也可能增加。

因此，中科飞测拥有两条不同的增长路径。

第一条是继续扩大设备销量，利用新产品进入更多晶圆厂和先进制程环节。

第二条是围绕已经交付的设备，提高软件、关键耗材及维保服务的商业化能力，形成与客户长期生产活动相关的收入。

两种增长方式的财务特征并不相同。

设备销售需要持续投入研发、制造和库存资金，收入确认通常受到客户验收进度影响。软件及维保服务则有机会提供更加连续的收入，但其具体毛利率、收费模式和续约能力仍取决于产品及合同结构。

中科飞测在第 2000 台设备出机公告中，已明确提出通过设备、软件和服务协同形成全流程良率管理解决方案。

这表明公司正在主动拓展硬件销售之外的商业模式。不过，累计出机数量不等于当前在役设备数量，现有披露也尚不足以测算单台设备能够贡献多少年化服务收入。

高研发投入正在争取更大的市场

中科飞测选择在规模扩大阶段继续加强研发。

2026 年前三季度，公司研发投入 6.35 亿元，同比增长 44.23%，占营业收入的 39.32%。第三季度研发投入达到 2.54 亿元，同比增长 63.93%。

这一投入强度显著影响短期盈利。

前三季度公司归母净亏损 0.95 亿元，扣非归母净亏损 2.05 亿元。第三季度虽然实现归母盈利，但扣非后仍小幅亏损。

这并不改变其设备收入增长和先进制程产品导入取得进展的事实，却表明企业仍处于以较高研发投入争取更大市场空间的阶段。

对于高度依赖技术迭代的量检测设备公司，研发投入能否形成更多客户认证、产品升级和重复订单，比单季度费用率下降更加重要。

尤其是在先进制程、存储器和先进封装领域，检测精度、运行速度和缺陷识别能力的持续提升，决定设备供应商能否从国产替代的初步进入者，成长为核心工艺环节的长期供应商。

此次董事长提议回购股份，主要用途是股权激励和员工持股，而非直接注销股份。其商业意义也在于通过股权激励安排稳定技术和经营团队。

回购尚需履行董事会审批程序，最终实施规模仍有不确定性。但这一资金安排与持续增加的研发投入，共同反映出公司仍将技术能力和人才资源视为主要竞争基础。

中科飞测的第 2000 台设备，标志着国产半导体量检测设备已形成一定规模的交付能力。

但一家设备公司从规模扩张走向持续盈利，需要完成另一项转变，即让已交付设备不断产生新的商业价值。

未来，随着先进制程产品收入占比提高、存量客户重复采购增加，以及软件和服务业务逐步商业化，公司有机会形成设备销售与后续运营收入相结合的盈利结构。

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